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一种高晶化率多晶硅薄膜的制备方法
发明授权化学生物
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    类型 发明授权
    行业类型 化学生物
    交易方式 许可
    申请时间 2015-08-05
    到期时间
    申请号
    公开/公告号 CN201510474064.X
    专利状态 有效
    专利详情

    本发明提供了一种高晶化率多晶硅薄膜的制备方法,该方法为:选取多晶硅粉末及磷粉末为原料,石墨片为蒸发源,k9玻璃片为基板,将原料、蒸发源和前处理后的基板放置于真空镀膜机中蒸镀,设定基板与原料间距离为130~150cm,基板温度100~300℃;将蒸镀后所得到的样品放入真空退火炉中在550℃温度下退火2h,用铝标准腐蚀液对所得样品进行表面腐蚀,得到多晶硅薄膜。本发明的多晶硅薄膜平整度高、晶粒尺寸均匀性好、晶化率高可达94.95%,本发明所需原料价格低廉、储量丰富,制备的合金薄膜力学性能好、制备工艺简单,易于工业化生产。

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    常见问题
    专利交易有哪些类型?

    专利交易分为:完全转让、独占许可、排他许可、普通许可等方式。我们通常采用的交易方式为完全转让,即受让方完全拥有专利权,包含所有权与使用权。而许可单指拥有专利的使用权。

    专利申请费用减缓需要什么条件?

    申请人或专利权人符合下列条件之一的:


    (一)上年度月均收入低于3500元(年4.2万元)的个人;

    (二)上年度企业应纳税所得额低于30万元的企业;

    (三)事业单位、社会团体、非营利性科研机构;

    两个或者两个以上的个人或者单位为共同专利申请人或者共有专利权人的,应当分别符合前款规定;


    申请人或专利权人在申请日后请求费减的,则需提交《费用减缴请求书(申请日后提交适用)》,并填写专利费减备案证件号。


    办理手续需要多久?

    当专利局审查后,会对审查结果做出通知。如果审核通过的话,专利局一般会在2到6个月内发专利转让合格通知书。并且可以在国家知识产权局专利库中查询到相关的变更结果。

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